Angled Physical Contact Polish (APC Polish)
Inngangur
Umsóknarkröfur
Kerfislýsingar
Vinnsluflæði
Viðskiptavinamál
Inngangur
Umsóknarkröfur
Of-Lágur grófleiki (Ra): End-grófleiki andlits verður að vera minni en 20 nm, helst til að ná<5 nm to minimize optical scattering loss.
Framúrskarandi flatleiki: Endaflöturinn ætti að vera laus við kúptar eða íhvolf til að tryggja fullkomna snertingu við líkamlega snertingu (PC) eða Angled Physical Contact (APC) yfirborði tengitengisins.
Galla-Ókeypis: Yfirborðið verður að vera laust við rispur, sprungur og leifar af agnamengun.
Hornnákvæmni: Hallahornið (θ) verður að vera nákvæmlega stjórnað, venjulega þarf vikmörk innan ±0,2 gráður.
Stefnumótun: Stefna hallahornsins verður að vera í takt við lykla tengisins til að tryggja rétta hornasamsvörun meðan á pörun stendur.
Heiðleiki brúnar: Ferlið við að búa til hornflötinn verður að koma í veg fyrir að trefjabrúnin klippist, sem gæti orðið nýr endurskinspunktur eða álagsþykkni.
Kerfislýsingar
HSM Precision Grinding and Polishing System veitir heildar-ferlalausn.
Vinnsla flæði
Undirbúningur sýnis
Festið trefjaendahliðina með því að nota sérsniðna hornfestingu. Hornfestingin, ásamt pigtail trefjarins, er síðan fest á sérsniðna haldara til að koma í veg fyrir að pigtail truflar vinnsluflæðið.
Undirbúningur við slípun
Skiptu um vinnsluplötuna fyrir fægipúða. For-þarfðu púðann í 30 mínútur og skiptu slípiefninu yfir í HSM sérhæfða fægislípu.
Stjórna lykilbreytum í gegnum grafíska viðmótið:
Hraði pússplötu: Minna en eða jafnt og 15 snúninga á mínútu
Rennslishraði gróðurs: Fylgst með rauntíma-dreypistýringarkerfi (dregur úr sóun)
Þrýstiálag: 0-100 g
Markmið: Náðu ofur-lítil grófleika; enda-grófleiki andlitsins verður að vera minni en 20 nm, helst<5 nm, to minimize optical scattering loss.
Úrslit
Endahliðar trefja sem unnið var með HSM-CMP kerfinu náðu eftirfarandi frammistöðu:
Viðskiptavinamál
Viðskiptavinur notaði HSM-CMP kerfið til að framkvæma 7 gráðu hornfæðu á 20 ljósleiðara með eftirfarandi ferli og niðurstöðum:
Upphafsástand: RMS=80 nm, með sýnilegum skurðarmerkjum á yfirborðinu.
Eftir 4 klukkustunda fægja: RMS=15 nm, með staðbundin svæði sem ná 8 nm.
Yfirborðsútlit: Við skoðun í smásjá var endaflöturinn flatur og laus við rispur.
Hefni: Engin hætta á beinbrotum eða sprungum.
Hreinsunaráhrif: Dýfing í hreinsilausn fjarlægði flestar yfirborðsmengun.
Tæknileg staðfesting
Skýringarmynd: Skýringarmynd af endahlið trefja eftir vinnslu með HSM-CMP kerfinu.
ISO 4287 - Grófleiki (S-L)
