Hvernig á að fínstilla lapping ferlið þitt til að bæta ávöxtun og TTV
Í nákvæmni framleiðslu á undirlagi eins og sílikoni, safír og gallíumarseníði, þjónar lappirnar sem mikilvægt millistig á milli sneiðar og fægingar. Megintilgangur þess er að fjarlægja skemmdir undir yfirborði fljótt af skurði, bæta yfirborðssléttleika og ná vel stýrðri markþykkt. Fullkominn mælikvarði á árangursríkt lappferli liggur í tveimur lykilmælingum: mikil framleiðslaAfraksturog yfirburðaHeildarþykktarbreytingar (TTV).
Illa fínstillt hringferli getur valdið bylgjum, ör-sprungum og óhóflegum þykktarbreytingum, sem getur leitt til skelfilegrar bilunar í ferlum aftan á straumnum eins og efnafræðilegri-vélrænni fæging (CMP) eða búnaðarframleiðslu. Þessi grein lýsir kerfisbundinni nálgun til að hámarka lapping ferli til að hámarka ávöxtun og lágmarka TTV.
Að skilja kjarnamarkmiðin: Afrakstur og TTV
Afrakstur:Í þessu samhengi vísar ávöxtun til þess hlutfalls flísa sem fara út úr skúffunarferlinu sem uppfylla allar forskriftir um þykkt, TTV og yfirborðsgæði, án þess að þurfa að endurvinna eða vera rifin.
Heildarþykktarbreytingar (TTV):Þetta er mikilvæg færibreyta sem skilgreinir flatleika obláts. Það er munurinn á hámarks- og lágmarksþykktargildum yfir alla oblátuna. Lágt TTV er nauðsynlegt til að tryggja einsleitni í síðari ljósþekju- og ætingarskrefum.
Hagræðing leggur því áherslu á að stjórna hverri breytu til að framleiða samræmdar, flatar oblátur með lágmarks breytileika og skemmdum.
Lykilfæribreytur fyrir fínstillingu lappings
1. Þrýstingseftirlit: Grunnurinn að samræmi
Notaður þrýstingur er ef til vill áhrifamesti breytan. Of mikill þrýstingur eykur hraða til að fjarlægja efni (MRR) en með miklum kostnaði:
Hár TTV:Það getur valdið sveigju á þynnri oblátum og ójöfnu sliti á burðarbúnaðinum.
Lág afrakstur Lág uppskera:Það veldur dýpri skemmdum undir-yfirborði, eykur hættuna á beinbrotum og krefst þess að meira efni sé fjarlægt við fægja og sóar þannig dýrmætu undirlagi.
Hagræðingarstefna:Innleiða fjöl-þrýstiprófíl. Byrjaðu á aðeins hærri þrýstingi til að fjarlægja magn og lækkaðu smám saman niður í lægri lokaþrýsting. Þetta síðasta lágþrýstiskref er mikilvægt fyrir "koss-lappir" til að ná lokavíddinni og lágmarka TTV án þess að valda nýjum skaða.
2. Slurry Management: The Cutting Mechanics
Slípiefnislausnina-sem samanstendur af burðarvökva og slípiefni (td súrál, kísilkarbíð)- verður að vera nákvæmlega stjórnað.
Gerð og stærð slípiefnis:Grófara gróft fjarlægir efni hraðar en skilur eftir dýpri rispur og hærra TTV. Fínari grjón bæta yfirborðsáferð og TTV en hægja en hægja á MRR. Algeng aðferð er að nota grófa/fínna kornröð.
Styrkur og flæðishraði slurrys:Ósamræmi einbeitingarinnar leiðir til breytilegrar MRR og lélegs TTV. Stöðugt, vel-blandað slurry flæði tryggir stöðugt framboð af ferskum slípiefnum, sem kemur í veg fyrir „svelti“ sem veldur ójöfnu sliti. Mjög mælt er með sjálfvirkum skömmtunarkerfum.
3. Flutnings- og vinnuhaldarbúnaður: Tryggja geometríska heilleika
The lapping burðarefni, sem geymir obláturnar, verður að halda fullkominni samhliða hringi.
Ástandsskilyrði:Slitin eða skekkt burðarefni eru aðalorsök lélegs TTV. Skoðaðu og endurskoðaðu-vélabúnað reglulega til að tryggja að þeir séu flatir og sannir.
Fylgingarhringir:Fyrir ó-bakaðar oblátur koma festingarhringir í réttri stærð og viðhalda í veg fyrir snúning á disknum og flís, sem hefur bein áhrif á uppskeru.
4. Laufplata Flatness og ástand
Lappplöturnar sjálfar verða að vera fullkomlega flatar. Með tímanum slitna þeir ójafnt, sem leiðir til taps á alþjóðlegri flatneskju og aukinnar TTV yfir allar unnar oblátur.
Í-Situ ástandi:Notaðu sérstaka hárnæringarhringi eða plötur meðan á vinnslu stendur til að viðhalda stöðugt flatri hring.
Áætluð endur-yfirborð:Reglulega verður að-slípa hringplöturnar aftur eða snúa aftur-til að endurheimta flatt aðalviðmiðunarplan.
5. Ferlavöktun og mælifræði: Viðbragðslykkjan
Þú getur ekki stjórnað því sem þú mælir ekki. Það er ekki-viðræðuhæft að innleiða öfluga mælifræðiáætlun í-ferli.
PostEftir-Mæling hrings:Mæla skal hverja einustu oblátu fyrir heildarþykkt og TTV strax eftir hringingu með því að nota snertilausan mæli.
Gagnagreining: Notaðu Statistical Process Control (SPC) töflur til að fylgjast með TTV og þykktarþróun. Vaxandi TTV stefna er snemmbúið viðvörunarmerki um vandamál með slit á burðarefni, flatneskju í hringplötu eða styrk slurrys.
Skref-fyrir-verkflæði fyrir fínstillingu
1. Grunnmat:Mældu núverandi frammistöðu (ávöxtun, meðaltal TTV, staðalfrávik þykktar).
2. Þekkja takmarkandi þáttinn:Er aðalvandamálið TTV, yfirborðs rispur eða ósamræmi í þykkt? Greina rusl og endurvinna gögn.
3. Kerfisbundið DOE (Hönnun tilrauna):Ekki breyta einni breytu í einu í einangrun. Í staðinn skaltu keyra skipulögð DOE til að skilja samspil lykilstærða eins og þrýstings, plötuhraða og slurry straumhraða bæði á MRR og TTV.
4. Innleiða og betrumbæta:Byggt á niðurstöðum DOE, stofnaðu nýja, bjartsýni uppskrift. Leggðu áherslu á stöðugleika og endurtekningarhæfni.
5. Stjórna og fylgjast með:Formgerðu nýju stillingarnar í venjulegu vinnsluferlinu þínu (SOP). Styrkja tæknimenn með skýrum stjórnunarmörkum og viðbragðsáætlunum fyrir utan-forskriftarmælingar.
Niðurstaða
Hagræðing á lapping ferli er heildræn viðleitni sem nær lengra en einfaldlega að fjarlægja efni. Það krefst djúps skilnings á samspili vélrænna breytu, rekstrarvara og tækjabúnaðar. Með því að einbeita sér að nákvæmri þrýstingsstýringu, samkvæmri stjórnun á gróðurleysi, óaðfinnanlegu vinnuhaldi og ströngu eftirliti með ferlum geta framleiðendur umbreytt lappaferli sínu úr hugsanlegum flöskuhálsi í áreiðanlega,-afrakstursaðgerð. Verðlaunin eru ekki bara yfirburða TTV og minnkað rusl, heldur einnig sterkari grunnur fyrir öll síðari nákvæma framleiðsluþrep, sem að lokum leiðir til -afkastameiri lokaafurða og heilbrigðari botnlínu.
