Skjal:
1. Inngangur
Demantur, þekktur sem harðasta efnið í náttúrunni, býr yfir afar mikilli varmaleiðni, framúrskarandi sjónrænt gagnsæi (sérstaklega frá útfjólubláum til langt-innrauðra bylgjulengda), góðan efnafræðilegan stöðugleika og afar lágan núningsstuðul. Þar af leiðandi hefur það óbætanlegt notkunargildi á hágæða iðnaðar- og tæknisviðum. Eins-kristal eða þunn-filmu demantur er mikið notaður í skurðarverkfæri, hitauppstreymi undirlag, sjónglugga, hitaleiðni fyrir há-afltæki, skammtaskynjun og lífeindafræðilegan búnað.
Hemei Company býr yfir djúpri tækniþekkingu í vinnslu og slípun á ofur-hörðum efnum. Það hefur þróað kerfisbundið,-nákvæmni fægja- og yfirborðsmeðferðarferli sérstaklega fyrir demantsefni. Þetta ferli gerir fulla-ferlastjórnun kleift frá grófri vinnslu til yfirborðsáferðar á nanóskala, sem tryggir að demantarefni uppfylli kröfur um "tækis-gráðu" eða "optískt-stig" forrit.
2. Umsóknarkröfur
Markmiðin með slípun og vinnslu demantsefna eru:
Total Thickness Variation (TTV) stjórnað innan ±1,5 míkrómetra.
Yfirborðsgrófleiki (Ra) minnkaður í minna en 1 nanómetra.
Yfirborð laust við ör-sprungur og skemmdir undir-yfirborði, uppfyllir kröfur um sjónhúð eða samþættingu tækis.
Viðhalda góðum kristalheilleika og brúnheilleika.
Til að ná þessum markmiðum notar Hemei ferlið sambland af sérhæfðum tengingarkerfum, fjöl-þrepum og efnafræðilegri fægingu, sem tryggir rúmfræðilega nákvæmni og yfirborðsgæði meðan á vinnslu stendur.
3. Kerfislýsingar
Mát fægjakerfi Hemei getur á sveigjanlegan hátt lagað sig að demantssýnum af mismunandi stærðum og gerðum (þar á meðal einkristalla, fjölkristallaðar þunnar filmur og óregluleg lögun). Kjarnakerfið inniheldur:
HSM-UHP Series Ultra-Hörðu efni til lappabúnaðar:
Notað fyrir upphafsmótun og þykktarstýringu demants, búinn háum-stífleikasnældu og demanturs-sértækum hringplötum.
HSM-DCMP Series Diamond-sérstakt Chemical Mechanical Polishing (CMP) kerfi:
Notað til að ná öfgafullri-nákvæmni slípun á demantsyfirborði, sem getur náð flatneskju á nanóskala og lítilli-tjónastjórnun.
Lykilundirkerfi:
Demantur-sértæk bindingareining (DBU):
Veitir háan-styrk, lítilli-tímabundinni tengingu, hægt að laga að demantssýnum af mismunandi þykktum og lögun.
D-ASJ Series High-Stífleiki fægingarbúnaður:
Sérstaklega hannað fyrir demantur, sem tryggir stöðuga klemmu og kemur í veg fyrir að brúnin flögnist.
Háhraða-höfuðslípunarkerfi fyrir drif:
Gerir kleift að fjarlægja efni við háan snúningshraða og þrýsting, sem bætir vinnslu skilvirkni.
4. Vinnsluflæði
4.1 Uppsetning, festing og hnoð
Tenging:Notaðu Hemei bindingareininguna til að tengja demantssýnishornið tímabundið við keramik eða gler undirlag. Kerfið bætir sjálfkrafa upp fyrir þykktarmun til að tryggja upphaflega hliðstæðu.
Klemma:Festu tengdu samsetninguna á lofttæmistúkkuna á ASJ röð fægifestingarinnar.
Lapping:Settu festinguna á lappplötu HSM búnaðarins. Kerfið starfar á hraða allt að 120 snúninga á mínútu, á sama tíma og það skilar demanta öragna slurry í gegnum nákvæma vökvaveitukerfi. Þetta stig miðar að því að fjarlægja efni hratt og stjórna heildarþykkt og sléttleika.
4.2 Uppsetning, festing og fægja
Flutningur og þrif:Eftir að það hefur verið hringt skaltu hreinsa sýnið og fjarlægja það af stuðningsplötunni.
Nákvæm fæging:
Valkostur A (optical-einkunn yfirborð): Notaðu Hemei HSM-CMP kerfið. Demanturinn er festur beint í gegnum sérsniðið-slípunarhaus. Kerfið styður rauntímastillingu á mörgum breytum (þrýstingi, snúningshraða, samsetningu fægivökva o.s.frv.) til að ná litlum-skemmdum, mikilli-sléttu fægingu.
Valkostur B (-mjög skilvirkni fjöldaframleiðsla): Hladdu demantinum í innréttingu sem er búinn sérstakri festingu fyrir háhraða slípun. Hentar fyrir forrit sem krefjast mikils yfirborðsgæða en ekki endilega sjónræns-stigs.
5. Úrslit
Með því að nota Hemei fægjakerfið til að vinna úr demantaefni fæst afar hágæða-yfirborðsástand, tilbúið fyrir síðari húðun, límingu eða búnaðarframleiðslu. Kerfið nær framúrskarandi yfirborðsheilleika á sama tíma og það tryggir mikla skilvirkni.
Með því að fínstilla ferlibreytur (eins og þrýsting, snúningshraða og samsetningu fægivökva) getur Hemei ferlið náð stöðugum efnisfjarlægingarhraða (MRR) upp á 0,8-2 μm/klst fyrir demantur, sem kemur ákjósanlegu jafnvægi á milli skilvirkni vinnslu og yfirborðsgæða.
Eftirfarandi gögn eru byggð á niðurstöðum sem mældar eru úr lotu af 8 stykki af 10x10 mm² einkristal demanti sem unnið er með HSM-DCMP kerfinu:
|
Parameter |
Eftir lapping (upphaflega) |
Eftir pússingu (lokaleikur) |
Marklýsing |
|
Yfirborðsgrófleiki (Ra) |
~150 nm |
<1 nm |
Ra < 2 nm |
|
Heildarþykktarbreytingar (TTV) |
- |
< ±1.2 μm |
TTV < ±2 μm |
|
Efnisflutningshlutfall (MRR) |
- |
0.8-2 μm/h |
- |
|
Edge Heiðarleiki |
- |
Engin flís, engin brún brot |
Standast sjónræna og smásjárskoðun |
Ofangreindar breytuniðurstöður eru eingöngu frá Hemei Semiconductor (Suzhou) rannsóknarstofu.
Dæmigert demantavinnsluniðurstöður
Tegund sýnis:Einn-kristall / fjölkristallaður demantur (stærð sérhannaðar)
Efnisflutningshlutfall (MRR): 0.8-2 μm/h
Lokagildi Ra: <1 nm
Flatness (TTV): < ± 1,2 μm
Ástand brún:Ósnortinn, óskemmdur
Ofangreindar breytuniðurstöður eru eingöngu frá Hemei Semiconductor (Suzhou) rannsóknarstofu.
Samantekt:
Fægingarlausnin sem Hemei Company býður upp á fyrir demantaefni samþættir búnað með miklum-stífleika, sérhæfðum innréttingum og fínstillingu ferla. Það getur á stöðugan og endurskapanlegan hátt náð yfirborðsáferð á nanóskala og rúmfræðilegri nákvæmni á míkróna-stigi, sem styður eindregið iðnaðarbeitingu demanta í hágæða ljósfræði, aflbúnaði, skammtatækni og öðrum sviðum.
Ef þörf er á frekari viðbótum á sérstökum búnaðarlíkönum, samanburði á ferlibreytum eða vinnslumismun fyrir ýmsar demantagerðir, get ég haldið áfram að bæta við.
