Hornsteinn nákvæmni: Leiðbeiningar um fyrirbyggjandi viðhald á búnaði til að skella og fægja oblátur
Í hinum mjög krefjandi heimi hálfleiðaraframleiðslu eru ferlarnir við að lappa og fægja mjög mikilvæga til að ná þeirri gallalausu yfirborðsfullkomnun sem krafist er fyrir nútíma samþættar rafrásir. Búnaður til að slípa og fægja oblátur starfar með mikilli nákvæmni og tekur á slípiefni, háan þrýsting og viðkvæm efni. Sérhvert frávik frávik í frammistöðu getur leitt til skelfilegrar ávöxtunartaps vegna rispna, uppskurðar eða ó-jafnrar þykktar.
Öflugasta tólið til að tryggja stöðug gæði, hámarka spennutíma og vernda fjármagnsfjárfestingu er ekki háþróuð uppfærsla, heldur stranglega framkvæmd.Forvarnarviðhald (PM) forrit. Þessi grein lýsir mikilvægum þáttum PM gátlista fyrir þennan viðkvæma búnað.
Heimspeki forvarna
Viðbragðs viðhald-að laga vandamál eftir að þau eiga sér stað-er dýrasta aðferðin fyrir slíkar vélar. PM er fyrirbyggjandi stefna sem er hönnuð til að:
Útiloka óvæntan niður í miðbæ:Finndu og leystu vandamál áður en þau valda vélarbilun.
Tryggja ferli samræmi:Haltu nákvæmum vélrænum og efnafræðilegum aðstæðum sem nauðsynlegar eru fyrir endurteknar niðurstöður.
Lengja líftíma búnaðar:Draga úr sliti á mikilvægum hlutum.
Auka öryggi:Dragðu úr áhættu í tengslum við meðhöndlun efna, háþrýstikerfi og hreyfanlegum hlutum.
Framkvæma skal yfirgripsmikinn PM gátlista með skipulögðu millibili (daglega, vikulega, mánaðarlega) og inniheldur eftirfarandi lykilsvið.
Gátlisti fyrir forvarnarviðhald fyrir búnað til að slípa oblátur og fægja
I. Daglegar athuganir (-rekstrarstig)
Þetta eru fljótleg sjón- og rekstrarathugun sem á að framkvæma í upphafi eða lok hverrar vakt.
1. Sjónræn skoðun:
Athugaðu hvort sýnilegur vökvi leki (vatn, slurry, efni) í kringum dælur, slöngur og tengingar.
Skoðaðu fægiplötuna og burðarbúnaðinn fyrir merki um of mikið slit, sprungur eða uppsöfnun leifa.
Gakktu úr skugga um að svæðið í kringum búnaðinn sé hreint og laust við rusl.
2. Flutningskerfi:
Gakktu úr skugga um að gróður- og efnabirgðatankar hafi nægilegt magn.
Hrærið gróðurtönkum til að koma í veg fyrir sest, ef við á.
Skoðaðu flutningslínur fyrir slurryect með tilliti til beygjum, stíflum eða loftbólum.
3. Grunnvirkni:
Framkvæmdu prufuhlaup án oblátu til að staðfesta að allir ásar hreyfast mjúklega og hljóðlega.
Hlustaðu á óvenjulegan hávaða frá mótorum, dælum eða legum.
Staðfestu Staðfestu að neyðarstöðvun og öryggislæsingar séu virk.
II. Vikulegar / tvívegis-Vikulegar athuganir
Þessi verkefni fela í sér ítarlegri hreinsun og skoðun til að koma í veg fyrir hægfara skerðingu á frammistöðu.
1. Djúphreinsun:
Taka í sundur og þrífa:Hreint:Fjarlægðu lakkpúðana (ef ekki er skipt út), burðarefni og festihringi.
Skrúbbplata:Hreinsaðu yfirborð slípunarplötunnar vandlega til að fjarlægja innfelldar agnir og þrjóskar leifar.
Hreinsið slury stútur:Losaðu og skolaðu slurry skömmtunarstúta til að tryggja jafnt og stöðugt flæði.
2. Vélræn kerfisskoðun:
Athugaðu drifreimar:Skoðaðu belti með tilliti til spennu, slits og glerjunar. Stilltu eða skiptu út eftir þörfum.
Smurning:Athugaðu smurmagn í tilgreindum legum og stýrisbrautum. Fylltu á með viðurkenndum smurefnum.
Flutningsfilmuskoðun:Skoðaðu ástand burðarfilmunnar eða bakefnisins og skiptu um það ef það er slitið.
3. Vatns- og efnakerfi:
Athugaðu og hreinsaðu vatnssíur (DI/RO) til að viðhalda hreinleika og þrýstingi.
Skoðaðu efnaleiðslur og loka fyrir tæringu eða leka.
III. Mánaðarlegar / ársfjórðungslegar athuganir
Þetta eru umfangsmeiri skoðanir, sem oft þarf þjálfaðan tæknimann til að meta-langtíma heilsu kerfisins.
1. Ítarleg háþróuð vélræn skoðun:
Bearing & Spindle Health:Athugaðu hvort spil eða grófleiki sé í aðalplötusnældunni og legum burðarhaussins. Fylgstu með mótorstraumstöku fyrir frávikum.
Flatnessmæling:Notaðu granít flata og þreifmæla eða interferometer til að athuga flatleika fægiplötunnar. Endur-hring ef út fyrir forskrift.
Þrýstingur og niður-kraftkvörðun:Staðfestu nákvæmni beitts þrýstings með því að nota kvarðaðan mæli.
2. Stjórn- og rafkerfi:
Staðfesting skynjara:Gakktu úr skugga um að stöðuskynjarar, nálægðarrofar og hitaskynjarar virki rétt.
Rafmagnsskápur:Skoðaðu ryksöfnun og hreinsaðu síur á kæliviftum skápsins.
Athugaðu hvort tengitengingar séu þéttar.
3. Heilleiki vökvakerfis:
Framkvæma yfirgripsmikla athugun á öllum dælum (surry, efni, frárennsli) fyrir frammistöðu og innsigli.
Skoðaðu allt frárennsliskerfi úrgangs fyrir stíflur eða takmarkanir.
Skjöl: Síðasta, mikilvæga skrefið
Gátlisti er aðeins virkur ef hann er skjalfestur. Fyrir hvert verkefni sem unnið er þarf að skrá eftirfarandi:
Dagsetning og tímiaf viðhaldi.
Nafn tæknimannsinssem vann verkið.
Upphafsástandþáttarins.
Aðgerðir gerðar(td "hreinsað", "aðlagað", "skipt út").
Varahlutir notaðir(með hlutanúmerum til að fylgjast með birgðum).
Lokastaðfestingstaðfestir að búnaðurinn hafi staðist eftir-viðhaldspróf.
Þessi skrá skapar dýrmæta sögu til að leysa endurtekið vandamál og skipuleggja framtíðarfjármagnsútgjöld.
Niðurstaða
Í hálfleiðaraframleiðslu, þar sem ófullkomleikar á nanómetra-kvarða geta gert skífuna ónýta, eru skekkjumörk nánast núll. Agað, vel-skjalfest fyrirbyggjandi viðhaldsáætlun fyrir lappa- og pússunarbúnað er ekki aðeins tilmæli-það er grundvallarkrafa grundvallarkrafa fyrir framúrskarandi rekstrarhæfileika. Með því að sjá kerfisbundið um vélina sem sér um oblátið standa framleiðendur vörð um gæði vöru sinna, hámarka framleiðslulínu sína og tryggja arðsemi sína af fjárfestingu í ófyrirgefanlega samkeppnishæfum iðnaði.
