Sljósvifsvélin er kjarnabúnað á sviðum hálfleiðara framleiðslu, framleiðslu á sjónhluta og önnur hátt - nákvæmni yfirborðsvinnsla. Árangur þess veltur á réttri samsvörun valinna slípiefna og smitandi verkfæraefni. Hér að neðan er ítarleg lýsing á efnunum sem henta fyrir þennan búnað:
I. Slípategundir
Slípun eru lykilmiðlarnir sem taka beint þátt í að klippa og gera kleift að fjarlægja efni.
Alumina - byggð á slípiefni (Al₂o₃)
Þeir búa yfir mikilli hörku og góðum efnafræðilegum stöðugleika, sem gerir þau fjölhæf slípiefni. Hentar vel fyrir gróft lapp og hálf - frágang á málmefni eins og hertu stáli og steypujárni. Í skaftandi fægivélum eru slípiefni úr súrálum oft notuð í vinnslustigum sem krefjast mikillar flatarmáls en krefjast ekki loka spegilsáferðar.
Carbide - byggð á svívirðingum (td kísilkarbíð (sic), bór karbíð (b₄c))
Þessi slit hafa mjög mikla hörku og sterka slitþol. Kísilkarbíð er aðallega notað til að vinna úr hörðum og brothættum efnum eins og gleri, keramik og ekki - járn málmum; Boron karbíð er aftur á móti notað til að smella harðari efnum (svo sem sementuðu karbíðum og harðri króm húðun). Þessi tegund slípiefna gerir kleift að fjarlægja háa efni.
Diamond - byggð slípiefni
Sem erfiðasta efnið í náttúrunni eru demantur slípiefni fyrsti kosturinn til að vinna Super - hörð efni. Í gróft vinnslu (lapping) stigi á skífu sem lappa fægivélar eru demantur slípiefni mikið notað til að skjóta hálfleiðara skífum (td kísilþurrkum, kísilkarbíðskífum), tilbúið gimsteinar, keramik osfrv.
Önnur algeng slit
Ceriumoxíð (forstjóra): Hátt - gæði fægja slípiefni með framúrskarandi efnafræðilegri vélrænni fægingu (CMP) afköst. Það nær mjög háu yfirborðsáferð með samsetningu vægs efnafræðilegs verkunar og vélræns núnings og er oft notað til endanlegrar fægingu kísilþurrka og gler undirlags.
Silica (Sio₂) kolloid: Algengt er að nota í CMP ferli fyrir Ultra - fínar kísil, kísillög og málmlög (td kopar samtengingar). Það hefur lágmarks fjarlægðarmagn og skilar framúrskarandi yfirborðsgæðum.
II. Lappandi verkfæri efni
Lappa verkfæri (einnig þekkt sem fægiplötur) eru lykilþættir sem hafa vinnustykki og svarfefni og senda hreyfingu. Val á efnum þeirra hefur bein áhrif á flatneskju og frágang á unna yfirborði.
Steypujárni verkfæri
Með mikilli hörku, slitþol og þéttri uppbyggingu, felldu steypujárnsverkfæri auðveldlega fellt svarfakorn og geta viðhaldið góðri flatnesku. Þau eru aðallega hentug til að slökkva á málmefni eins og hertu og óhæftum stálhlutum og steypujárnihlutum og eru algengt val til að fletja málm undirlag í skaftandi fægivélum.
Eir/tini lapping verkfæri
Þessi lappatól hafa tiltölulega mjúka áferð og eru oft notuð til að slökkva á mjúkum málmefnum (td ál, kopar málmblöndur) eða sem grunnefnið til að fægja púða. Mýkri lappatólin geta komið í veg fyrir rispur á yfirborði nákvæmni vinnubragða og eru mikið notuð á loka fægingu.
Fjölliða tilbúið lappatæki (fægipúðar)
Nútímalegt skaftandi fægingarvélar, sérstaklega þær sem notaðar eru í CMP ferlinu, nota yfirleitt fægingarpúða úr fjölliða efni eins og pólýúretan. Þetta efni hefur ákveðna mýkt, porosity og slitþol og getur betur geymt og flutt fægivökva. Það er kjarnaþáttur til að ná alþjóðlegri planarization.
Að velja viðeigandi samsetningu af lappa efnum skiptir sköpum til að hámarka afköst á fjólu sem lappar fægja vél:
Gróft vinnsla (lapping): Til að stunda háan efnishlutfall er slit með mikla hörku (td demantur, bór karbíð) oft parað við harða lappatól eins og steypujárn.
Að klára/fægja: Til að ná öfgafullum - sléttu yfirborði, þarf að para saman fínan og mjúkan slípiefni (td ceriumoxíð, kísil kolloid) með mjúkum eða tilbúnum fægingarpúðum.
Þess vegna getur hátt - afköst gifaflimandi fægja vél mætt að fullu - vinnsluþörf frá gróft lapping til ultra - nákvæmni fæging með sveigjanlegri stillingu slípiefna og lappatól, sem gerir það að tilvalinni búnað til að framleiða háa- nákvæmni íhlut.
Við erum faglegur kínverskur framleiðandi sem sérhæfir sig í skífu sem labbar fægja vélar. Við höfum okkar eigin verksmiðju með stórum lager af í - lagervörum og samþykkjum einnig sérsniðna framleiðslu. Við laða að viðskiptavini með lágt verð og hátt - gæðaþjónustu. Verið velkomin að spyrjast fyrir og fá gæsalista!
